슬림 에칭장치

슬림 에칭장치

발명의 영문 명칭 : SLIM ETCHING APPARATUS

등록번호 10-1409723
등록일자 2014년06월13일

출원번호 10-2011-0131449
출원일자 2011년12월09일
심사청구일자 2011년12월09일

선행기술조사문헌
JP09330901 A*
JP2006032609 A*

발명의 요약 : 본 발명은 실리콘 웨이퍼를 한꺼번에 균일한 두께로 에칭할 수 있는 슬림 에칭장치에 관한 것이다.

본 발명에 따른 슬림 에칭장치는 소정의 공간을 형성하는 챔버; 상기 챔버 내부에 구비되고, 에칭액이 담긴 에칭 수조; 상기 챔버 내부에 상기 에칭 수조와 수평하게 구비되고, 린스액이 담긴 린스 수조; 상기 에칭 수조와 린스 수조 상측에 수평하게 위치된 수평축; 상기 수평축에 수직하게 연결되고, 수평하게 일정 간격을 두고 배열된 한 쌍의 카세트; 상기 카세트들 사이에 탈착 가능하게 설치되고, 복수개의 실리콘 웨이퍼를 수직하게 잡아주는 지그; 상기 수평축과 지그 걸쳐 구비되고, 상기 지그를 상기 수조들 내부에서 수평면을 기준으로 회전시키는 회전이동수단; 상기 카세트들과 회전이동수단을 상기 수평축을 따라 상기 에칭 수조와 린스 수조 상측으로 이동 가능하게 장착시키는 수평이동수단; 및 상기 수평축을 상하 방향으로 이동시키며, 상기 지그에 장착된 실리콘 웨이퍼들을 상기 에칭 수조 또는 린스 수조에 담기도록 하는 수직이동수단;을 포함하도록 구성된다.

도면 :