챔버 클리닝이 가능한 코팅 장치

챔버 클리닝이 가능한 코팅 장치

발명의 영문 명칭 : A COATING APPARATUS COMPRISING A CLEANABLE CHAMBER

등록번호 10-1637099
등록일자 2016년06월30일

출원번호 10-2014-0170858
출원일자 2014년12월02일
심사청구일자 2014년12월02일

선행기술조사문헌
JP11162957 A*
JP2000003902 A*
KR1020010076318 A*

발명의 요약 :

서지정보 < 상세정보 – KIPRIS 특허정보 검색서비스

실시예의 챔버 클리닝 장치는, 미립자의 코팅 물질을 대상 물체에 증착시킬 수 있는 장치에서, 상기 대상 물체가 수용되는 챔버 내벽을 세정하기 위한 챔버 클리닝 장치로서, 상기 챔버 내부로 공급하기 위한 반응 가스가 저장된 가스 공급부; 상기 가스 공급부의 이동을 단속하는 단속 밸브; 상기 단속 밸브를 통과한 반응 가스를 상기 챔버 내부로 공급하는 주입부; 상기 챔버 내부의 상측에 마련되는 상부 전극; 상기 챔버 내부의 하측에 마련되는 하부 전극; 상기 상부 전극과 하부 전극 사이에 수용되는 세정 전극; 및 상기 세정 전극, 상부 전극 및 하부 전극으로 전압을 공급하기 위한 전압 공급부;를 포함하고, 상기 세정 전극은 측면을 형성하는 4개의 면으로 구성되고, 상기 4개의 면은 복수개의 와이어가 상하 및 좌우로 교차되도록 배열된 메쉬 타입으로 형성된다.

도면 :